Princip ogrevanja vakuumske peči

Načelo ogrevanja vakuumske peči vključuje pretvorbo električnega ali drugega vira energije v toplotno energijo prek grelnih elementov v peči in nato prenos te toplote na obdelovanec v visoko-vakuumskem okolju. Zaradi nizkega tlaka in redkih molekul zraka v peči se toplota prenaša predvsem s sevanjem, pri čemer površina obdelovanca absorbira to sevano toploto in se segreje.

Grelni elementi običajno uporabljajo uporovne žice, palice iz silicijevega karbida ali palice iz silicijevega molibdena. Ko so pod napetostjo, ti elementi ustvarjajo visoke temperature, ki neposredno oddajajo toploto v komoro peči in obdelovanec. Pri visoko{2}}temperaturnih procesih materiali telesa peči in komore ustvarjajo stabilno toplotno polje, ki zagotavlja enakomerno porazdelitev temperature in dosledno segrevanje po obdelovancu. Hkrati je vakuumska peč opremljena s sistemom za nadzor temperature, ki s pomočjo termočlenov ali infrardečih termometrov spremlja temperaturo peči in samodejno prilagaja moč ogrevanja. Višja kot je raven vakuuma v peči, manj je plinskih molekul, kar zmanjšuje učinke konvekcije in prevodnosti, prenos toplote pa je v prvi vrsti odvisen od sevanja. Zato sta natančen nadzor temperature in učinkovitost ogrevanja ključnega pomena za kakovost procesa.